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隨著真空技術的不斷發展，真空設備在冶金工業被廣泛應用。油擴散泵作為大多數高真空系統的主泵，具有結構簡單，抽氣速率高，容易獲得高真空等特點，油擴散泵是以油蒸汽射流來攜帶氣體達到抽真空目的。
1、高速的油蒸汽流從噴嘴噴出，形成傘形，只要氣體分子碰到油蒸汽就極容易被攜帶走，而后達到泵的內壁上，泵壁是用冷卻水冷卻的，所以油蒸汽被冷凝成為油滴，沿泵壁流入油鍋，氣體分子不能被冷凝而放出。
2、油作為工作液裝在下面油鍋內，經過加熱器加熱變成油蒸汽，沿著導流管上升，由于噴嘴處的截面突然縮小，蒸汽流的速度提高。
3、油擴散泵的出口壓力不能超過最大反壓強，當擴散泵工作時出口壓強過大，氣體將由前級泵向擴散泵反擴散，改變油蒸汽分子的的定向運動，增大油蒸汽返流率。
4、油擴散泵入口障板的主要作用是，當擴散泵正常工作時，阻擋不規則運動的油蒸汽分子向被抽容器中返流的屏障。障板的結構對阻擋油分子的返流有很大關系。